Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium

Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux
diélectriques ferroélectriques dans la technologie
silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des
matériaux pérovskites qui présentent des propriétés
électriques remarquables : permittivité diélectrique très
élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité,
électrostriction.





Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à l'état de céramique, les
couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup
moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique
sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur
le silicium et notamment pour les microsystèmes.





Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers
un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des
couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les
synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement,
la description de plusieurs réalisations technologies abouties.